作為測(cè)量基準(zhǔn)的是帶有雙坐標(biāo)高精度相位光柵的鋼質(zhì)光柵尺，讀數(shù)頭部分在測(cè)量時(shí)和鋼質(zhì)光柵尺之間也是不接觸的。在安裝狀態(tài)下，讀數(shù)頭通過(guò)安裝小車(chē)和鋼質(zhì)光柵尺體相連。測(cè)量時(shí)，只需將尺體與運(yùn)動(dòng)方向平行放置在床臺(tái)上，讓讀數(shù)頭通過(guò)磁力吸附在機(jī)床的運(yùn)動(dòng)部件（如主軸）上，并撤離安裝小車(chē)即可。

　　精度檢測(cè)作圓周測(cè)試時(shí)，數(shù)控系統(tǒng)在加工平面內(nèi)控制機(jī)床軸進(jìn)行圓弧插補(bǔ)。使用EFG進(jìn)行圓周和自由曲線測(cè)試時(shí)，所需機(jī)床數(shù)控程序的編程很簡(jiǎn)便。分析軟件DG詢問(wèn)所有和測(cè)試相關(guān)的參數(shù)后自動(dòng)生成相應(yīng)的數(shù)控程序。程序通過(guò)數(shù)控系統(tǒng)的數(shù)據(jù)接口直接傳輸?shù)綑C(jī)床系統(tǒng)中。圓周測(cè)試的分析結(jié)果可以用于推測(cè)機(jī)床誤差的來(lái)源，如"機(jī)床軸與軸之間的正交誤差；象限過(guò)渡時(shí)的反向脈沖；反向間隙；數(shù)控系統(tǒng)補(bǔ)償數(shù)據(jù)不適用；機(jī)床部件的不均勻熱膨脹；機(jī)床軸的偏擺誤差；不同進(jìn)給速度的影響；不同進(jìn)給加速度的影響等。

　　自由曲線測(cè)試顧名思義允許對(duì)機(jī)床在一個(gè)平面內(nèi)進(jìn)行的任何運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)試。例如，通過(guò)過(guò)角測(cè)試可以衡量控制環(huán)動(dòng)態(tài)性能的一個(gè)重要指標(biāo)：過(guò)沖特性和由此決定的（因過(guò)切造成的）倒圓角誤差。階躍響應(yīng)測(cè)試階躍響應(yīng)測(cè)試用于測(cè)量進(jìn)給系統(tǒng)的實(shí)際*小運(yùn)動(dòng)步距，這也是反映靜摩擦力的影響和進(jìn)給系統(tǒng)穩(wěn)定保持在一個(gè)位置能力的指標(biāo)。這項(xiàng)測(cè)試常被用在高精度機(jī)床檢測(cè)上。EFG和IG都可以用作階躍響應(yīng)測(cè)試。DG分析軟件允許測(cè)試結(jié)果以位移！時(shí)間或速度時(shí)間形式來(lái)表達(dá)。采用海德漢雙坐標(biāo)光柵進(jìn)行靜態(tài)動(dòng)態(tài)精度測(cè)試簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確、可靠，還允許快速、自動(dòng)存檔。和只分析被加工工件精度的機(jī)床分析方法相比，本文所述的方法更加有效，因?yàn)橹挥羞@樣才可以將加工工藝的因素和機(jī)床本身的因素分開(kāi)，便于對(duì)機(jī)床的各個(gè)方面進(jìn)行更有效分析。